2019 年，约斯·本肖普在一个研讨会上发言，掏出了自己的三星手机。1997 年，阿斯麦把他请来，就是为了启动极紫外（EUV）光刻项目。据他本人在阿斯麦 2022 年发布的一篇文章里回忆，他当时对台下说：「我曾经天真地说，EUV 会在 2006 年量产。我很惭愧地承认，它晚了 13 年。」说完他晃了晃手机：「可你们当中有些人，以为这东西永远不会存在。」
芯片是用光「印」出来的：把电路图案投射到硅片上。缩短光的波长，是把线条做细的一条重要路径。当时业内用的是 193 纳米的光，EUV 只有 13.5 纳米。麻烦在于，几乎什么东西都会把它吸掉，连空气和玻璃也不例外，所以整台机器得在真空里工作，只能靠反射镜来引导光线。光本身也难造：用激光去打熔化的锡滴，每秒 5 万个，每个打两次。
1998 年，阿斯麦牵头组了一个欧洲的 EUV 研究联盟，1999 年又加入了美国的一个。2001 年，公司拨了一个小团队和不多的经费去造样机。2006 年，第一批样机运了出去，分别送到比利时的 imec 和纽约州奥尔巴尼的一所大学实验室。也是在这一年，阿斯麦交付了第一台量产型浸没式光刻机，那是它本来就在卖的 193 纳米技术的改良版。
卡住的是光源。2011 年，一位分析师对《IEEE Spectrum》说，EUV 一度被寄望最早 2005 年就投产，可做光源的厂商「一个进度都没赶上」。本肖普后来回忆，客户会翻出阿斯麦当年的光源路线图，拿那些多年前的承诺来说事。「他们在 SPIE 的会上简直把我们钉上了十字架。」
接着，最大的几家客户开始掏钱，催它快一点。2012 年夏天，英特尔、台积电和三星同意在五年里向阿斯麦的研发投入 13.8 亿欧元，再花 38.5 亿欧元合计买下公司 23% 的股份。
同年 10 月，阿斯麦宣布以 19.5 亿欧元收购圣迭戈的光源厂商 Cymer，两家此前已在 EUV 上紧密合作了一年多。这份公告也交了底：装在客户那里的光源，功率最高只有 11 瓦，一小时大约能处理 7 片晶圆。目标是 105 瓦、每小时 69 片，「用于 2014 年的芯片生产」。
收购在 2013 年完成。2014 年就这么过去了。工程师们最终把光源推到 250 瓦，够一小时处理 125 片晶圆。2018 年 10 月，三星的 EUV 工艺开始生产晶圆；2019 年第二季度，台积电进入量产。同一年，三星推出了第一款用上 EUV 芯片的消费产品，是一部手机。
阿斯麦 2019 年的年报里，首席执行官彼得·温宁克把这一年称作「EUV 光刻真正突破的一年」，在「20 年的 EUV 历程」之后。同一份年报还写着，阿斯麦原计划这一年交付 30 台 EUV 光刻机，实际交了 26 台。有 4 台因为供应链延误，推到了 2020 年初。